產品型號：HUE-G2631
產品名稱：超大型氣浮隔微振裝置
最大載荷：130t
臺體自重：154.7-1020t
最大浮起高度：40mm
位移分辨率：1μm、5μm
解決方案
產品手冊
一.產品簡介
HUE-G2631是新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產品是超大型基礎性平臺設備，可用于大型/超大型精密儀器及系統、光學儀器及系統、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調、測試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。
40余項中外發明專利技術授權
國家科技重大專項推介產品
在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應用
核心技術指標通過國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測
主要核心技術指標達到國際同類產品領先水平
臺面固有頻率0.8Hz
臺面振動速度均方根值3μm/s
二.特征與優勢
高分辨力與高精度的統一:
采用高速、高精度控制板卡控制，臺體位移精確至微米級，真正實現超精密控制!
本土化產品快速供應:
產品核心技術和部件均來自國內，3~4個月施工完成并調試結束，無需歷經嚴苛復雜的進出口安全與商務審批過程!
先進控制策略:
精密氣浮隔振平臺采用主被動復合控制方式，隔振效果得到顯著提高，臺體升降過程中，保持臺體水平姿態，避免精密儀器在升降過程中可能出現的破壞，甚至傾覆的危險!
專家級成套解決方案:
超精密級隔振平臺的隔振效果常被工作環境、對象等影響。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊，可提供超精密測量成套解決方案!
三.應用領域
HUE-GZ631大型/超大型氣浮隔微振裝置可以為超精密儀器設備裝調測試提供穩定的平臺。
我公司該產品目前已有18種適應不同應用場合的的型號產品;在航天、國防和高端超精密裝備制造領域有廣泛應用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產和使用中的隔微振技術難題。隨著我國的裝備制造業向中高端發展，HUE-G2631將在我國發展該類高端超精密裝備發揮重大作用。
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四.技術規格
隔振系統整體規格 | 臺體自重 | 154.7-1020t |
最大載荷 | 130t | |
最大浮起高度 | 40mm | |
位移分辨率 | 1μm、5μm | |
臺體固有頻率 | 1.2Hz | |
臺體最大振動速度 | 3μm/s | |
空氣彈簧隔振器 | 規格 | φ600-φ1000 |
設計載荷 | 11.5-32.0t | |
高精度、高速控制系統 | 采集電壓分辨力 | 3mv |
控制電壓分辨力 | 12mv | |
響應頻率 | 83kHz | |
高度測量光柵尺 | 測量分辨力 | 1μm、5μm |
響應頻率 | 200mm/s | |
主動作動器音圈電機 | 最大輸出力 | 250N |
輸出力分辨力 | 0.06N | |
差動式電壓電流型功率放大器 | 電流分辨率 | 10mA |
通頻帶 | 2kHz | |
速度傳感器 | 941B | |
通頻帶 | 0.25-100Hz | |
速度分辨率 | 4x108m/s | |
加速度分辨率 | 5x10-6m/s2 | |
位移分辨率 | 4x10-8m | |
使用要求 | 工作電壓 | AC220V 50Hz |
工作氣壓 | 0.3-0.6MPa |
注：規格價格如有變更，恕不另行通知。版權所有，包括以上任何形式復制整個或部分文件的權利。
