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型號：HUE-VS0810
最小開口：0.2*0.2mm
X向行程：±22mm
Y向行程：±30mm
Y方向運動速度：0.8m/s
運動誤差：±0.03mm
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡介
VS部件實現(xiàn)調(diào)整光刻機光學系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內(nèi)光強的均勻性，要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。
二.設計原則
模塊化設計原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設計，須便于集成前的模塊離線測試。
輕量化原則：在滿足強度及模態(tài)需求情況下，降低質(zhì)量，減輕對電機出力的需求。
質(zhì)心匹配原則：電機驅(qū)動質(zhì)量與驅(qū)動力盡可能在同一平面實現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動，可減小附加轉(zhuǎn)矩。
尺寸約束原則：在滿足接口尺寸要求條件下，合理布局，盡可能平衡各預留尺寸。
易于裝調(diào)原則：在設計階段考慮裝調(diào)測試，以減小工裝設計和裝調(diào)的難度。
硬件安全原則：運動部件必須有安全防護裝置及限位，首選機械方式，其次電氣及軟件方式。
三.產(chǎn)品規(guī)格
需求名稱 | 指標 | |
行程需求 | VS最小開口 | 0.5mm*0.5mm |
X向行程 | 總行程±22mm,其中功能行程±20mm | |
Y向行程 | 總行程±30mm，其中功能行程±28mm | |
Y方向運動特性 | VS運動誤差(動態(tài)) | ±0.03mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度(驗收指標) | 5g | |
加速度(設計目標) | 6g | |
速度(驗收指標) | 0.6m/s | |
速度(設計目標) | 0.8m/s | |
加速穩(wěn)定時間(驗收指標) | <8ms | |
加速穩(wěn)定時間(設計目標) | <6ms | |
反向沖擊力 | <40N | |
X方向運動特性 | VS運動位置誤差 | ±0.02mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度 | 2g | |
速度 | 0.5m/s | |
設定時間 | 90ms,運動距離10mm | |
刀口位置 | 四個刀口共面 | ≤0.1mm |
相鄰刀片斜面距離 | ≤0.1mm | |
X方向刀片相對安裝基準面垂直度(全運動行程內(nèi)) | <0.02mm | |
Y方向刀片相對安裝基準面平行度(全運動行程內(nèi)) | <0.02mm | |
壽命 | 7年 | |
MTBF | 平均無故障時間 | >10000h |
