產品型號：HUE-ZT1031
產品名稱：大型超精密單軸氣浮轉臺
徑向回轉精度：0.1μm
角回轉精度：0.3μm
工作臺平面度：15μm
工作臺面跳動：20μm
解決方案
產品手冊
一．產品簡介
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺主要用于大型和超大型精密機械、光學精密零部件的幾何參量或部件及整機運動參量的計量檢測、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機裝配測試等。
二．規(guī)格與工作特性
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺臺面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設計有T型槽或固定子L的臺面形式，特殊需要可單獨定做；臺體承重從800kg到20000kg，（技術指標見產品手冊）。
三.結構與工作特性
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺配置精密氣浮軸系，兼有高回轉精度、高剛度和高承載能力等特點。轉臺高精度旋轉時無噪聲、無振動、運動平穩(wěn)。轉臺配有花崗巖或鑄鐵基座和高潔凈空氣凈化器。
四.控制特性
該轉臺分為有驅動和無驅動兩種，有驅動的控制指標可按下述數據選配。
角位置誤差：1～5”
角分辨率：0.05～3”
重復性：02--2”
速率范圍：±0.03°／S～±150°／S
速率波動性：0.5%～1%
五，使用條件
電壓： 220或380V交流電壓，50HZ
氣源： 0.4～0.5MPa的過濾干燥空氣
溫度：20℃±5℃
濕度：<60%
其他：避免酸堿等腐蝕性氣體侵蝕
