傳統(tǒng)的氣浮平臺(tái)多數(shù)采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)與滾動(dòng)絲杠相結(jié)合，將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)經(jīng)由絲杠轉(zhuǎn)變?yōu)榕c其相連的工作臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)。這種驅(qū)動(dòng)方式的缺點(diǎn)很明顯，如系統(tǒng)傳動(dòng)鏈較長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、摩擦較大等。另外，其承載與導(dǎo)向元件一般采用滑動(dòng)或滾動(dòng)導(dǎo)軌，這兩類導(dǎo)軌在系統(tǒng)進(jìn)行低速運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)出現(xiàn)“爬行”現(xiàn)象，致使運(yùn)動(dòng)不穩(wěn)定，影響系統(tǒng)精度。

超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)在精密與高精密測(cè)量與制造領(lǐng)域，如何解決上訴問(wèn)題是提高工作臺(tái)性能的關(guān)鍵。直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)應(yīng)時(shí)而生，其消除了電動(dòng)機(jī)到工作臺(tái)的傳動(dòng)環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了零傳動(dòng)鏈的電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式。另外，根據(jù)部分輕載工作臺(tái)的應(yīng)用要求，結(jié)合導(dǎo)軌的優(yōu)劣性能，采用氣浮導(dǎo)軌與直線電機(jī)相結(jié)合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技術(shù)指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)變得更加容易，成為了在精密運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)發(fā)展中的又一-突破。但是，結(jié)合國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀，我國(guó)的氣浮平臺(tái)技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外各工業(yè)大國(guó)，各種設(shè)備多靠進(jìn)口，自主研發(fā)能力較弱，這種情況嚴(yán)重制約著我國(guó)的工業(yè)技術(shù)發(fā)展，所以，對(duì)直線伺服氣浮工作臺(tái)的研究意義深遠(yuǎn)。

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導(dǎo)入，使轉(zhuǎn)軸懸浮于空氣中，并能平滑旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過(guò)軸承腔引入空氣壓力，使導(dǎo)流間隙特別小，保證轉(zhuǎn)軸懸浮，從而獲得較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。高速、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、不潤(rùn)滑、速度穩(wěn)定、無(wú)噪音。氣浮轉(zhuǎn)盤具有許多優(yōu)點(diǎn)，越來(lái)越多地使用氣浮式軸承來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機(jī)械軸承。

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)作為一種典型的超精密機(jī)械，從誕生起就受到了人們的廣泛關(guān)注，其中包括微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生命科技、納米面形測(cè)量，高精密機(jī)床研發(fā)等領(lǐng)域，是超精密定位、探測(cè)及精確移動(dòng)載體平臺(tái)，為超精密加工工藝技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)拓展了一個(gè)領(lǐng)域，可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗(yàn)等問(wèn)題。

對(duì)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的高壓氣體的流動(dòng)規(guī)律、壓力分布、轉(zhuǎn)臺(tái)精度分離方法等進(jìn)行了充分掌握。制造出小孔節(jié)流型氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，其影響因素：高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器直徑、節(jié)流器數(shù)量、均壓槽深度等，找到了優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間，取得了關(guān)鍵技術(shù)突破，使用壽命10年以上，為高精度零件的加工與檢測(cè)、超精密加工工具的研制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。