山西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司
發(fā)布時(shí)間：2022-11-12 01:35:31
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析。可廣泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域。基準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門，開(kāi)展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長(zhǎng)久的使用壽命。
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特征與優(yōu)勢(shì)高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過(guò)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用的特點(diǎn).雙橫臂自動(dòng)升降立柱由橫臂及立柱機(jī)構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動(dòng)或手動(dòng)升降，水平運(yùn)動(dòng)可手動(dòng)進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時(shí)可以微調(diào).通過(guò)傳感器夾持機(jī)構(gòu)可將傳感器在測(cè)量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測(cè)量?jī)?nèi)孔.
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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過(guò)調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺(tái)上，從而實(shí)現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時(shí)，基底平臺(tái)作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測(cè)量?jī)x(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)。主要用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、艦船發(fā)動(dòng)機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動(dòng)、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測(cè)，并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲(chǔ)、并建立數(shù)據(jù)庫(kù)，通過(guò)計(jì)算機(jī)對(duì)誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)價(jià)和分析，***終得出正確的測(cè)量結(jié)果并出具測(cè)試報(bào)告。