海南超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時間：2022-10-16 01:36:14
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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數(shù)的前提下，對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行全局優(yōu)化，從而得到基于動靜壓復合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準的結(jié)構(gòu)參數(shù)。科學意義及應用價值：對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的綜合性能。實驗表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。
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因此，高端通用試驗儀器設(shè)備。將集中力量，重點突破一批我國需求量大、嚴重依賴進口、價格昂貴的試驗儀器設(shè)備，攻克若干試驗儀器設(shè)備核心技術(shù)和關(guān)鍵部件，帶動重要領(lǐng)域試驗儀器設(shè)備整體水平提升，打破國外壟斷。第二，前沿重大試驗儀器設(shè)備。將依據(jù)我國在世界新一輪科技革命中的戰(zhàn)略部署，研發(fā)若干具有國際領(lǐng)先水平的重大試驗儀器設(shè)備，有效支撐我國開展世界一流科學研究、有特色科學研究，帶動高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調(diào)、測試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應用
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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經(jīng)5天的時間完成了整個測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發(fā)專項等的研制情況。
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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高精度二維轉(zhuǎn)臺。10項中國發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發(fā)動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉(zhuǎn)臺核心技術(shù)指標均通過中國國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉(zhuǎn)誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術(shù)作為回轉(zhuǎn)軸系，轉(zhuǎn)臺軸系回轉(zhuǎn)誤差小，承載可高達數(shù)十噸。