鄭州機械轉臺公司
發布時間：2022-09-28 01:36:09
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等?！疽幐衽c工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術，進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計，使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩，在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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由于SMEE的任務要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務。2017年2月初，SMEE的質量控制人員、設計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經5天的時間完成了整個測試。產品經過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關于公司基礎能力、研發能力、生產能力、典型產品等情況的介紹，考察了極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發專項等的研制情況。
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磁懸浮主軸技術，永磁、電磁和氣浮結合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態特性好等特點，但發熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優點是軸承發熱較小，適合于高速運轉，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業。精密滾珠絲杠是超精密機床驅動采用的常規方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應用。
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在保證焦斑質量的同時，可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置，提高了曝光光強的調制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
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該卡盤精度高、性能穩定可靠、操作方便，在航空發動機制造、裝調檢測和維修領域的應用中得到普遍認可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內進行調整，對工件的重復裝卡精度可達2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設計制造。轉接盤航空發動機裝配專用轉接盤裝置，是根據發動機轉子部件的結構尺寸和裝配工藝而專門設計制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉臺上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進行裝配、檢測(如圖所示)。