山西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間：2022-09-26 01:36:08
山西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過(guò)預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。
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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺(tái)設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學(xué)儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機(jī)等高端裝備的加工、裝調(diào)、測(cè)試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項(xiàng)中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國(guó)家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團(tuán)等單位應(yīng)用
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在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后，目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化，解決了人工肉眼和卡尺卡規(guī)檢測(cè)的局限性。精密檢測(cè)儀器被廣泛應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)上，隨著國(guó)內(nèi)工業(yè)的發(fā)展，精密檢測(cè)儀器的市場(chǎng)需求不斷增加。精密檢測(cè)儀器目前已成為工業(yè)發(fā)展不可或缺的一個(gè)產(chǎn)業(yè)，是新興產(chǎn)業(yè)中高速發(fā)展的一個(gè)行業(yè)。新時(shí)代，更多的產(chǎn)品需要提供三維檢測(cè)，這樣才能更好的為現(xiàn)代社會(huì)的發(fā)展提供服務(wù)，所以國(guó)內(nèi)的精密檢測(cè)企業(yè)就在二次元影像儀的基礎(chǔ)上研發(fā)生產(chǎn)了三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)更高端的產(chǎn)品的三維檢測(cè)任務(wù)。
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陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場(chǎng)化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示，如國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測(cè)量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動(dòng)機(jī)裝配測(cè)試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“四截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“五截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”和“超大型同軸度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測(cè)量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。