長沙航空發動機測試儀廠家
發布時間：2022-09-18 01:37:26
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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量，并能進行相關分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領域?；鶞市蛨A柱度測量儀可用于計量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉基準主軸精度是圓柱度儀回轉基準的重要指標。經過優化設計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術，經特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉精度(0.015~0.05μm)、角回轉精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。
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HUE--E1231是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代高精度二維轉臺。10項中國發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(508所)、沈陽航空發動機研究所等單位應用HUE--E1231型高精度二維轉臺核心技術指標均通過中國國家量儀產品質量監督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優于5秒;角回轉誤差優于1秒;角定位誤差優于1秒;HUE--E1231特征與優勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術作為回轉軸系，轉臺軸系回轉誤差小，承載可高達數十噸。
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在保證焦斑質量的同時，可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置，提高了曝光光強的調制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
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其原理如圖所示。寫入激光經過調制穩光、準直擴束后，平行入射到DMD上，被其調制編碼、分束成獨立的光陣列;再經4?空間濾波系統濾波后，被微光學陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現寫入曝光;在寫入光被調制的同時，基底平臺作光柵或回轉掃描，實現微陣列和微結構光學器件的曝光制作?？茖W意義及應用價值：利用微光學陣列替換傳統的直寫物鏡，實現多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學透鏡與傳統物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。