西藏機(jī)械轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時間：2022-08-15 01:36:53
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科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。
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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，聽取了實(shí)驗(yàn)室主要研究方向、研究內(nèi)容介紹。李力肯定了項(xiàng)目進(jìn)展情況，并鼓勵科研人員努力工作，確保項(xiàng)目順利完成。為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。
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在保證焦斑質(zhì)量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強(qiáng)宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強(qiáng)的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點(diǎn)。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術(shù)，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
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研究目的：構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問題并突破衍射極限，實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)。基本原理：應(yīng)用二元光學(xué)器件，基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束，通過設(shè)計(jì)環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε，使將低頻光束頻移到高頻通帶，以減小共焦顯微鏡愛里斑的主瓣寬度，進(jìn)而達(dá)到提高其橫向分辨力和擴(kuò)展其量程范圍的目的。
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大深徑比測量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測量技術(shù),無論對單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級的測量。自動測量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動測量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國產(chǎn)化，60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測量成套解決方案。