南昌航空發動機測試儀定制
發布時間:2022-07-04 01:37:11
南昌航空發動機測試儀定制
科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

南昌航空發動機測試儀定制
研究目的:研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術,以解決傳統激光直寫單點曝光制作效率低的問題,提高微陣列和微結構光學器件的制作效率。基本原理:多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學鏡陣列作為直寫物鏡,將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑,以分散直寫任務;利用數字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光,并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。

南昌航空發動機測試儀定制
科學意義及應用價值:建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規律的子孔徑干涉拼接測量模型,依據該測量模型,可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器,進而解決凸凹深度非球面測量問題。研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉基準,解決傳統氣浮回轉基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題,以期進一步提高氣浮回轉基準的回轉精度,提高抗擾動能力。

南昌航空發動機測試儀定制
HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要用于高精度測量儀器、光學檢測儀器、精密/超精密光機電一體化裝備、精密/超精密機床等先進裝備制造領域,是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運動導向和定位的關鍵部件。HHUE--D1331氣浮導軌已成系列,其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導軌具有優異的直線運動精度和良好的剛度,直線運動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm,0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨設計。