南寧機械轉臺廠家
發布時間:2022-04-30 01:38:37
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在保證焦斑質量的同時,可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置,提高了曝光光強的調制分辨力,從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束,解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作,具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的:研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術,解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題,實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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其原理如圖所示。寫入激光經過調制穩光、準直擴束后,平行入射到DMD上,被其調制編碼、分束成獨立的光陣列;再經4?空間濾波系統濾波后,被微光學陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上,從而實現寫入曝光;在寫入光被調制的同時,基底平臺作光柵或回轉掃描,實現微陣列和微結構光學器件的曝光制作。科學意義及應用價值:利用微光學陣列替換傳統的直寫物鏡,實現多光路并行同步寫入,有效提高了寫入效率;同時由于微光學透鏡與傳統物鏡相比,像差小、制作容易、易獲得大數值孔徑,可極大地提高寫入分辨力。

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適用于實驗室和車間環境;電壓:220V或380V交流電壓,50Hz;氣源:0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度:20℃±5℃;濕度:<60%;其他:避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作,配有精密導軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項發明專利技術進行高精度、高剛度結構設計和氣體潤滑及支撐參數設計,使導軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點;并使導軌工作狀態平穩,在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。控制特性分為有驅動和無驅動兩種,按其需要進行驅動配置。

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特征與優勢高精度回轉基準本儀器通過氣浮轉臺提供回轉基準,氣浮軸材料選用優質合金鋼經滲氮處理,既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調心調傾工作臺調心調傾工作臺安裝到氣浮轉臺的臺面上,具有調心和調傾功能,具有剛度高、精度高、結構堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降,水平運動可手動進行快速大范圍調整同時可以微調.通過傳感器夾持機構可將傳感器在測量平面一定范圍內任意調整姿態,并可以測量內孔.

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HUE-G2631是哈爾濱工業大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯合開發的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產品是超大型基礎性平臺設備,可用于大型/超大型精密儀器及系統、光學儀器及系統、超精密制造裝備和工作母機等高端裝備的加工、裝調、測試與使用,在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項中外發明專利技術授權國家科技重大專項推介產品在北京空間機電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團等單位應用