青島航空發動機測試儀廠家
發布時間:2022-04-29 01:38:53
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統與整機裝配測試等。【規格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm,設計有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結構與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉臺采用多項發明專利技術,進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數設計,使轉臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉精度及高剛度特性;轉臺工作狀態平穩,在運動和定位狀態下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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科學意義及應用價值:融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性,其與傳統的環形透鏡式共焦測量系統相比,在達到同等橫向分辨力的情況下,由于整形環形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍,同時環形透鏡內環邊緣的衍射對測量系統造成的影響,橫向分辨力優于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域,可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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李力一行還考察了可調諧(氣體)激光重點實驗室,聽取了實驗室主要研究方向、研究內容介紹。李力肯定了項目進展情況,并鼓勵科研人員努力工作,確保項目順利完成。為做好國家首批國家重大科學儀器開發專項項目驗收工作,6月26日至27日,科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察,了解我公司的國家重大科學儀器設備開發專項項目。工業和信息化部、省工信委相關領導,我公司董事長等參加現場考察。

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磁懸浮主軸技術,永磁、電磁和氣浮結合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態特性好等特點,但發熱是其致命的弱點,水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比,這種軸承的優點是軸承發熱較小,適合于高速運轉,而且沒有污染,特別適合硅片加工等行業。精密滾珠絲杠是超精密機床驅動采用的常規方式,但是這種方式存在許多缺點,限制了運動精度的進一步提高。為此,氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應用,但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜,限制了其應用。

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超精密制造已建成22000m2的研發及生產基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間,2820㎡的精密/超精密加工車間,2110㎡的精密裝校車間,約2100㎡的光電系統研發生產車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機組,大型超精密氣浮隔微振設施,三坐標行吊車等配套設施。投資7000余萬元購置德國五軸聯動數控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標磨床,光學曲線磨床,精密平面磨床,立式加工中心,三坐標等大型精密/超精密加工與測量設備70余臺(套),具備了設計、研發、中試和生產大型高端超精密儀器與裝備產品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質量管理體系》認證,以顧客為關注焦點,與客戶廣交朋友,不斷持續改進,以顧客滿意為目標。