哈爾濱超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2022-04-24 01:38:45
哈爾濱超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，依據(jù)該測(cè)量模型，可建立起一種對(duì)上述影響因素有較強(qiáng)抑制能力的測(cè)量?jī)x器，進(jìn)而解決凸凹深度非球面測(cè)量問(wèn)題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問(wèn)題，以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動(dòng)能力。
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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問(wèn)題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒(méi)有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。
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陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場(chǎng)化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示，如國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測(cè)量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動(dòng)機(jī)裝配測(cè)試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“四截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“五截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”和“超大型同軸度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測(cè)量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。
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為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。