武漢機械轉(zhuǎn)臺公司
發(fā)布時間：2022-04-19 01:39:04
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準直擴束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學器件的曝光制作。科學意義及應(yīng)用價值：利用微光學陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。
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核心技術(shù)指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術(shù)指標達到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進
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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動機制造、裝調(diào)檢測和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進行調(diào)整，對工件的重復裝卡精度可達2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動機裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動機轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進行裝配、檢測(如圖所示)。
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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺提供回轉(zhuǎn)基準，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺調(diào)心調(diào)傾工作臺安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺的臺面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降，水平運動可手動進行快速大范圍調(diào)整同時可以微調(diào).通過傳感器夾持機構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測量內(nèi)孔.