天津超精密氣浮轉臺廠家
發布時間：2022-03-13 01:41:23
天津超精密氣浮轉臺廠家
超精密氣浮直線基準圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉基準精度高，直線運動基準的精度要求也非常高。經過優化設計的圓柱度儀導軌結構，提供了極高的直線運動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結構上進行了精心設計，保障了儀器整體具有非常高的結構穩定性。穩定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質，經過億萬年老化沉積，花崗巖材質質地均勻，強度高，應力變形小，對溫度敏感性小。經過精加工保證各零、部件的機械位置，基座具有優良的穩定性和剛度。
天津超精密氣浮轉臺廠家
在保證焦斑質量的同時，可獲得大的曝光區域;引入光強宏微雙重調制裝置，提高了曝光光強的調制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。
天津超精密氣浮轉臺廠家
李力一行還考察了可調諧(氣體)激光重點實驗室，聽取了實驗室主要研究方向、研究內容介紹。李力肯定了項目進展情況，并鼓勵科研人員努力工作，確保項目順利完成。為做好國家首批國家重大科學儀器開發專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學儀器設備開發專項項目。工業和信息化部、省工信委相關領導，我公司董事長等參加現場考察。
天津超精密氣浮轉臺廠家
HUE--D1331系列超精密氣浮導軌主要用于高精度測量儀器、光學檢測儀器、精密/超精密光機電一體化裝備、精密/超精密機床等先進裝備制造領域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運動導向和定位的關鍵部件。HHUE--D1331氣浮導軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導軌具有優異的直線運動精度和良好的剛度，直線運動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨設計。