福州超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
發(fā)布時(shí)間：2023-02-05 01:34:18
福州超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制
研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直寫的基本思想是以微光學(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。
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他對(duì)項(xiàng)目組已經(jīng)取得的標(biāo)志性成果、研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和隊(duì)伍建設(shè)等予以充分肯定，對(duì)課題組在參與國際、國家標(biāo)準(zhǔn)制定方面所做的工作給予認(rèn)可，還特別對(duì)項(xiàng)目組在承擔(dān)專項(xiàng)任務(wù)中進(jìn)一步衍生開發(fā)出新型高度測量儀器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時(shí)了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目執(zhí)行情況，并重點(diǎn)詢問了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進(jìn)展情況，對(duì)研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評(píng)價(jià)，并鼓勵(lì)項(xiàng)目組進(jìn)一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。
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圓柱度測量儀是我公司生產(chǎn)的專業(yè)化、系列化產(chǎn)品之一，至今已有近三十余年的歷史。產(chǎn)品包括：大型圓柱度測量儀、精密/超精密型圓柱度測量儀、基/標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測量儀，已形成系列化產(chǎn)品，解決了多項(xiàng)國家重大裝備造項(xiàng)目中核心器部件的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)測量難題;并在我國航空航天、國防和精密裝備造領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。與其直接相關(guān)的技術(shù)已獲100余項(xiàng)發(fā)明專利。此外，我公司可為客戶定制一些特殊需求的專用精密/超精密光機(jī)電一體化測量儀器、測試設(shè)備和試驗(yàn)裝備等。
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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個(gè)月的時(shí)間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計(jì)人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測試，歷經(jīng)5天的時(shí)間完成了整個(gè)測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運(yùn)往上海。新春伊始北京大學(xué)教授、中國科學(xué)院程和平院士一行在完成了對(duì)哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)、國家重大科學(xué)儀器研發(fā)專項(xiàng)等的研制情況。
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核心技術(shù)指標(biāo)通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測主要核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場合的的型號(hào)產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導(dǎo)微口徑約束、針孔光闌m科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究校準(zhǔn)溯源、工藝改進(jìn)
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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用的特點(diǎn).雙橫臂自動(dòng)升降立柱由橫臂及立柱機(jī)構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動(dòng)或手動(dòng)升降，水平運(yùn)動(dòng)可手動(dòng)進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時(shí)可以微調(diào).通過傳感器夾持機(jī)構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測量內(nèi)孔.