牡丹江超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司
發(fā)布時(shí)間：2023-01-15 01:34:21
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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺(tái)上，從而實(shí)現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時(shí)，基底平臺(tái)作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。
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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。
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為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。
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陸昊省長和楊雄市長等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場(chǎng)化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示，如國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測(cè)量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動(dòng)機(jī)裝配測(cè)試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測(cè)量儀”、“四截面大型超精密裝配/測(cè)量儀”、“五截面大型超精密裝配/測(cè)量儀”和“超大型同軸度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測(cè)量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。
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西方工業(yè)化發(fā)展了幾百年，摸索出的一條重要經(jīng)驗(yàn)就是通過市場(chǎng)和用戶的深度互動(dòng)，對(duì)每一次優(yōu)化創(chuàng)新進(jìn)行確認(rèn)，經(jīng)過時(shí)間的打磨，最終形成本國制造的歷史積淀。“技可進(jìn)乎道，藝可通乎神。”對(duì)產(chǎn)品不斷改進(jìn)、創(chuàng)新和優(yōu)化，是任何一家企業(yè)求得長遠(yuǎn)發(fā)展的基本前提。200年前，德國人德萊斯發(fā)明了木質(zhì)自行車，不經(jīng)意間開啟了一個(gè)交通提速時(shí)代。如今，德國人越來越注重自己組裝自行車，腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據(jù)騎車人的體形、使用習(xí)慣而定。
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核心技術(shù)指標(biāo)通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)主要核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)合的的型號(hào)產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導(dǎo)微口徑約束、針孔光闌m科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究校準(zhǔn)溯源、工藝改進(jìn)